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基本信息
探针台

仪器名称: 探针台

仪器编号: 13008289
仪器型号: EPS150FA
生产厂家: Cascade Microtech, Inc.,
技术指标:

3. 测试台主要要求 ★样品台尺寸:6inch(兼容5寸,4寸…至单芯片) ★样品台平整度:≤10μm ★样品台可分区吸附样品,并具备各分区独立真空控制开关,真空吸附样品采取真空孔形式而非环形真空槽形式。 ★ 样品台x,y轴移动精度:1μm,具备有日后扩展研发射频项目的能力,样品台可360度旋转。 ★ 样品载台可以整体拉出(具备Roll out功能),便于放置和取出晶圆。 ★ 显微镜放大倍率20到400倍。 ★ 配置CCD摄像头和显示器用于显示显微镜图像。 ★ 配置屏蔽暗箱、防震台。 4. 探针座、探针及连接线要求 ★ 手动控制探针,探针座精确度:±1μm, 重复性:±1μm ★ 能与Keithley 4200-SCS系统或Agilent B1500A系统半导体综测仪兼容, 配置可以实现4探针PIV测试的探针和电缆 ★ 探针座平台具备40mm上下移动功能。 ★ 探针漏电流<100fA.

存放地点:显示中心2楼超净室
保管单位:东南大学实验室
管理责任人:陈玉山
联系方式:13182919788
共享: 预约仪器
预约须知:

预约前请先联系管理责任人进行确认。

主要功能及用途:

测试半导体器件和纳米器件的电学综合性能。

仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表