仪器名称: 探针台
| 仪器编号: 13008289 |
| 仪器型号: EPS150FA |
| 生产厂家: Cascade Microtech, Inc., |
| 技术指标: 3. 测试台主要要求 ★样品台尺寸：6inch（兼容5寸，4寸…至单芯片） ★样品台平整度：≤10μm ★样品台可分区吸附样品，并具备各分区独立真空控制开关，真空吸附样品采取真空孔形式而非环形真空槽形式。 ★ 样品台x,y轴移动精度：1μm，具备有日后扩展研发射频项目的能力，样品台可360度旋转。 ★ 样品载台可以整体拉出（具备Roll out功能），便于放置和取出晶圆。 ★ 显微镜放大倍率20到400倍。 ★ 配置CCD摄像头和显示器用于显示显微镜图像。 ★ 配置屏蔽暗箱、防震台。 4. 探针座、探针及连接线要求 ★ 手动控制探针,探针座精确度：±1μm, 重复性：±1μm ★ 能与Keithley 4200-SCS系统或Agilent B1500A系统半导体综测仪兼容, 配置可以实现4探针PIV测试的探针和电缆 ★ 探针座平台具备40mm上下移动功能。 ★ 探针漏电流＜100fA. |
| 存放地点：显示中心2楼超净室 |
| 保管单位：东南大学实验室 |
| 管理责任人：陈玉山 |
| 联系方式：13182919788 |
| 共享: 预约仪器 |
| 预约须知: 预约前请先联系管理责任人进行确认。 |
| 主要功能及用途: 测试半导体器件和纳米器件的电学综合性能。 |
| 仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表 |