南京集成电路仪器设备共享平台

用户登录 首页 > 仪器检索 > 仪器基本信息
基本信息
台阶仪

仪器名称: 台阶仪

仪器编号: 15001786
仪器型号: Dektak XT
生产厂家: Bruker
技术指标:

台阶高度重复性5埃,1Δ*1um台阶上 XY行程100mm*100mm 扫描长度50μm到55mm 探针加力范围1毫克到15毫克 垂直测量范围可达1毫米

存放地点:小二楼101
保管单位:东南大学实验室
管理责任人:陈玉山
联系方式:13182919788
共享: 预约仪器
预约须知:

预约前请先联系管理责任人进行确认。

主要功能及用途:

测量台阶厚度以及表面粗糙度

仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表